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技術參數(shù): 
尺寸  | 長  | 120mm  | 170mm  | 190mm  | 
寬  | 110mm  | 170mm  | 230mm  | |
高  | 85mm  | 115mm  | 115mm  | |
導軌表面  | 水平  | 100mm  | 145mm  | 195mm  | 
側面  | 60mm  | 75mm  | 75mm  | |
重量  | 1200g  | 2550g  | 4200g  | |
真空吸力  | 水平  | >70N  | >200N  | >220N  | 
垂直  | >120N  | >220N  | >270N  | |
重復性  | 0.3µm  | 0.3µm  | 0.3µm  | |
超高重復性(備選)  | 0.5µm  | 0.5µm  | 0.5µm  | |
平板zui大倒角  | 5mm  | 7mm  | 7mm  | |